extreme ultraviolet lithography (EUVL); EUV optics contamination; TiO_2; EUV optics lifetime; carbon deposition; carbon contamination;
机译:乙醇抑制Ru覆盖的多层反射镜对极紫外光刻光刻光学的污染
机译:通过控制烃气气氛来保护和减少Mo / si多层膜对极端紫外光刻光刻光学的表面氧化
机译:因福岛第一核电站事故而产生的放射性污染的措施第二部分:空间辐射剂量率的测量和食品中污染物的检测
机译:EUV诱导的TiO_2-Lapped多层光学碳污染:高度非线性缩放和水蒸气的影响 - (PPT)
机译:底栖无脊椎动物监测作为艾伯塔省瓦巴门湖中碳氢化合物污染的评估工具。
机译:灵敏和准确的方法来测量微生物群落中海水中依赖于浓度的烃代谢速率的动力学
机译:EUV诱导多层光学元件污染的表征
机译:表面增强拉曼光谱(sERs)对地下水中芳烃污染的光纤化学传感的适用性。