variable shaped beam; VSB; multi shaped beam; MSB; electron beam lithography; stochastic beam blur; coulomb interaction;
机译:多电子束系统中的库仑模糊
机译:反射电子束光刻:使用反射电子束光刻概念的无掩模电子束直接写入光刻方法
机译:一种新的剂量测量和误差分析的新方法,用于使用不同的多叶准直器使用小型检测器对窄光子束(子束)进行成形。
机译:Coulomb模糊多形光束光刻方法的优点
机译:高通量电子束光刻中的库仑相互作用。
机译:从实际线性阵列中的真实形状光束开始的多种解决方案
机译:精确组装的多偏转阵列-多形束光刻的关键组件
机译:基于原位全球 - 基准网格的高保真电子束和离子束光刻新方法