planarization; imprint lithography; reverse-tone;
机译:用于反色调步骤和闪光压印光刻的平面化材料
机译:反向步进和闪光压印光刻的平面化材料的仿真和设计
机译:开发和验证用于分步和快速压印光刻工艺的功能压印材料
机译:反音阶跃和闪光压印光刻的平面化材料
机译:用于台阶和闪光压印光刻的平面化材料的仿真和设计以及界面粘合研究。
机译:通过全晶圆和卷对卷分步闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:评估Imprio 100步骤和闪存压印光刻工具