optical switches; micromirrors; microswitches; optical fabrication; electrodes; integrated optics; planarisation; photolithography; step response; optical arrays; optical MEMS switch; low-voltage-operation micromirror array; fabrication process; control;
机译:基于光学MEMS的微镜阵列在曲线表面柔性基板上的研制
机译:基于光学MEMS的微镜阵列,用于智能窗户中的主动光转向
机译:使用MEMS可变形微镜阵列的回射光学调制器
机译:用于光学MEMS开关的低压操作微镜阵列的新型制造工艺和结构
机译:基于MEMS技术的可调谐光学微镜开关的分析,制造和性能测量。
机译:SU-8平面MEMS结构的简单而坚固的制造工艺
机译:平面立式金属层制造:在微镜阵列中实现用于光转向应用的子结构
机译:采用sUmmiT制作工艺改进光学mEms设计