MOCVD; performance evaluation; electron traps; hole traps; dielectric thin films; hafnium; charge trapping; MOCVD hafnium-based gate field; dielectric stack structures; device performance; threshold voltage instability; mobility degradation; high-k dielectrics; Hf-based gate dielectric stacks; polysilicon electrodes; interface trapped charge; bulk trapping;
机译:具有$ hbox {HfO} _ {2} / hbox {Dy} _ {2} hbox {O} _ {{3} $)栅堆叠的锗基MOS器件的介电弛豫和电荷陷阱特性研究
机译:通过掺氮减少高可靠的4H-SiC MIS器件中AI_2O_3 / SiO_2堆叠栅极电介质中的电荷俘获位点
机译:接口陷阱电荷对横向/垂直栅极堆叠GE / SI TFET-on-Selbox基板的设备级性能的影响
机译:基于MOCVD铪的栅极介质堆结构的电荷诱捕及其对器件性能的影响
机译:先进CMOS技术的gate基栅极电介质的电荷捕获研究。
机译:非易失性存储应用中Al2O3-TiAlO-SiO2栅堆叠的电子结构和电荷俘获特性
机译:具有HfO $ _2 $ / Dy $ _2 $ O $ _3 $门叠层的锗基MOS器件的介电弛豫和电荷陷阱特性研究