首页> 外文会议>Ion Implantation Technology, 2000. Conference on >Implantation mode dependence of damage structure depth profiles in a Al/sub 2/O/sub 3/ irradiated with triple beam of H, He and heavy ions
【24h】

Implantation mode dependence of damage structure depth profiles in a Al/sub 2/O/sub 3/ irradiated with triple beam of H, He and heavy ions

机译:氢,氦和重离子三束辐照的Al / sub 2 / O / sub 3 /中损伤结构深度分布的注入模式依赖性

获取原文
获取外文期刊封面目录资料

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号