机译:集成式多晶硅和DRIE体硅微加工技术,用于静电扭转执行器
机译:使用UV-LIGA表面微加工和(110)硅块体微加工的高纵横比梳齿执行器
机译:具有二极管隔离的大块微加工硅梳状驱动静电执行器
机译:表面/散装微机械单晶硅微生物静电致动
机译:用于内窥镜超高分辨率光学相干断层成像的表面和整体微机械加工二维角垂直梳状致动器扫描仪
机译:基于原子力显微镜的基于生物分子 - 钳位使用微机械静电致动器进行测量
机译:表面微机械静电微蠕动泵
机译:由多晶硅表面微机械片上静电微引擎驱动的单片齿轮机构