机译:氢掺入对适用于50nm以下W型多金属栅极器件的低温等离子体选择性氧化形成的栅极氧化物可靠性的影响
机译:热处理和等离子处理,用于改进(小于)1 nm等效氧化物厚度的平面和基于FinFET的替代金属栅极高k后器件,并支持简化的可扩展CMOS集成方案
机译:具有低功率和高可靠性的深亚微米互补金属氧化物半导体器件的具有双高k栅氧化层厚度的Pt栅/ AI_2O_3 / p-Si(100)的电和物理分析
机译:50nm器件中的栅极氧化物:厚度均匀性提高了预测的可靠性
机译:ITRS 70和50NM技术节点的包含高K栅极电介质和金属栅电极的器件的制造和评估。
机译:小口径弹丸高可靠性微型安全与武装装置设计
机译:通过在其HfTiO栅极电介质中引入氮,改善了siC金属氧化物半导体器件的高场可靠性
机译:mOs(金属氧化物半导体)器件中陷阱电荷积累的偏压和氧化层厚度依赖性