2D quasi-static MEMS mirror; piezoelectric; AlScN; high linearity; long-term stability;
机译:具有Z轴振动和X,Y双向倾斜功能的电磁驱动光学MEMS反射镜的开发及其在低相干光学干涉仪中的应用
机译:倾斜镜型图像炉的行进溶剂浮区(TSFZ)技术对镜倾斜角度对LiCoO2单晶生长的影响
机译:集成的微位移传感器,可测量外部镜的倾斜角度和线性运动
机译:具有高线性度和大倾斜角的三晶片键合AlScN驱动的准静态MEMS反射镜
机译:使用线性化技术的用于大型金属MEMS反射镜阵列的集成CMOS电子驱动器。
机译:具有高可靠性的电热Cu / W双压电晶片倾斜式MEMS镜
机译:具有高可靠性的电热Cu / W双铜尖端倾斜 - 活塞MEMS镜
机译:镜机中高频,密度梯度驱动不稳定的非线性相互作用,II:下混合漂移不稳定的饱和度