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【2h】

An Electrothermal Cu/W Bimorph Tip-Tilt-Piston MEMS Mirror with High Reliability

机译：具有高可靠性的电热Cu / W双铜尖端倾斜 - 活塞MEMS镜

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Liang Zhou; Xiaoyang Zhang; Huikai Xie;
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年度 2019
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