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机译:集成的微位移传感器,可测量外部镜的倾斜角度和线性运动
optical lever; measuring instrument; displacement and rotation detection; VCSEL; MEMS; RESOLUTION;
机译:集成的微位移传感器,可测量外部镜的倾斜角度和线性运动
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机译:带有多模式熔融耦合器和凹面镜的微位移传感器
机译:集成的微位移传感器,可以测量外部镜子的倾斜或线性运动
机译:使用线性化技术的用于大型金属MEMS反射镜阵列的集成CMOS电子驱动器。
机译:基于3D正弦槽线性反射光栅和基于三角波的细分方法测量精密线性平台的倾斜运动直线度和位置的方法
机译:1200镜子阵列与CMOS集成,用于光子开关:机械杠杆和扭转静电驱动的应用,降低驱动电压要求并增加角倾斜
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