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目录
1 绪 论
1.1 引言
1.2 MOEMS扫描微镜国内外研究现状
1.3 论文的研究意义及主要内容
1.4 本章小结
2 集成角度传感器的扫描微镜理论分析与结构设计
2.1 引言
2.2 集成角度传感器的扫描微镜结构与工作原理
2.3 集成角度传感器的扫描微镜理论模型
2.4 扫描微镜的结构设计、优化与性能仿真
2.5 本章小结
3 扫描微镜的加工和封装
3.1 引言
3.2 扫描微镜加工版图设计
3.3 扫描微镜关键加工工艺
3.4 扫描微镜加工流程
3.5 扫描微镜封装设计
3.6 本章小结
4 驱动控制电路设计
4.1 引言
4.2 扫描微镜驱动控制电路总体设计
4.3 各模块设计
4.4 驱动控制电路测试
4.5 本章小结
5 扫描微镜性能测试
5.1 引言
5.2 扫描微镜性能测试系统
5.3 扫描微镜谐振频率测试
5.4 微镜扫描角度测试
5.5 角度传感器测试
5.6 本章小结
6 总结与展望
6.1 论文主要工作内容
6.2 进一步工作与展望
致谢
参考文献
附 录
重庆大学;