Electrodes; Micromechanical devices; Resonant frequency; Oscillators; Temperature distribution; Temperature sensors; Acoustic noise;
机译:基于ANFIS的冗余MEMS系统虚拟陀螺配置研究
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机译:MEMS陀螺电极配置的优化和电压形成规律
机译:迈向导航级MEMS陀螺仪的设计,控制和MEMS陀螺仪的错误缓解
机译:可向低压和快速响应的RF-MEMS开关横向移动的三电极驱动器
机译:优化所需高压电源电缆的热回填配置余量
机译:单万向节控制力矩陀螺系统屋顶式配置的转向规律