MEMS陀螺仪性能优化研究

摘要

随着微机电系统（MEMS）技术的不断发展，MEMS陀螺仪技术逐渐成为当前研究的热点技术。MEMS陀螺仪具有成本低、体积小、功耗低、高可靠性等优点，随着MEMS技术的发展，它的成本不断降低，精度却不断提高，在国防工业和汽车工业中应用非常广泛。本文简要的介绍了MEMS陀螺仪的概念和特征，分析了MEMS陀螺仪的发展现状，研究了MEMS陀螺仪的主要技术，研究了MEMS陀螺仪的一些技术性能的优化，总结了MEMS陀螺仪的发展趋势。