MEMS音叉陀螺仪中的传感电极的振荡电压

摘要

本发明涉及MEMS音叉陀螺仪中的传感电极的振荡电压。题述申请的实施例提供了一种用于操作微机电系统（MEMS）音叉陀螺仪的方法。该方法包括使相对于第一检验质块的第一侧面在平面外且接近于该第一侧面的第一传感电极上的电压以第一频率在第一电压与第二电压之间振荡。该方法还包括使相对于第一检验质块的第二侧面在平面外且接近于该第二侧面的第二传感电极上的电压以第一频率且与第一传感电极上的电压异相180度地在第一电压与第二电压之间振荡。该方法还包括通过首先以第一频率对来自第一检验质块的平面外信号进行解调且其次与第一检验质块的平面内运动同相地对该平面外信号进行解调来生成对应于第一检验质块的旋转速率的速率信号。