Etching; Three-dimensional displays; Cathodes; Metals; Heating systems; Temperature measurement; Micromechanical devices;
机译:使用Langmuir探针和发射光谱技术研究中空阴极反应离子蚀刻反应器中SF_6和SF_6 / O_2等离子体。
机译:使用改进的深反应离子刻蚀技术对硅衬底进行三维刻蚀
机译:深度反应离子刻蚀和聚焦离子束技术相结合制造的高清晰度高比例原子力显微镜针尖
机译:涉及使用3D自加热阴极的深反应离子蚀刻技术
机译:使用灰度光刻和深反应离子刻蚀开发深硅相菲涅耳透镜
机译:结合隔离技术和深反应离子刻蚀形成硅纳米结构
机译:使用深反应离子蚀刻和灰度曝光,光掩模图案化用于坡度深蚀刻
机译:使用涉及铁磁胶体,颜色蚀刻和微探针分析的金相技术检测δ铁素体到sigma的转变