Silicon nitride; Nanoindentation; Hexachlorodisilane; Mechanical properties;
机译:纳米压痕法对低温等离子体沉积氮化硅薄膜的弹塑性表征
机译:等离子体沉积富氮氮化硅薄膜的纳米压痕
机译:PECVD与氨基硅烷前体的三(二甲基氨基)硅烷一起沉积的氮化硅膜的制备和性能
机译:使用六氯二硅烷作为硅前体沉积硅氮化硅膜的纳米indentation测量
机译:带电氮化硅膜:硅太阳能电池的场效应钝化和通过寿命测量的新型表征方法。
机译:嵌入氮化硅薄膜中的硅量子点与金纳米粒子在发光器件中的耦合增强了电致发光
机译:等离子体增强化学气相沉积沉积氮化硅和氮氧化硅薄膜的材料结构和机械性能
机译:在碳化硅,氮化硅,氧化铝和氧化锆上测量金刚石碳膜的拉伸测试附着力