MEMS; SOI precess; bio-sensor; cantilever; reliable;
机译:一步开发DRIE干法工艺,可无限制地制造已发布的MEMS器件
机译:基于通过转换a-Si制备高质量氧化硅层的先进SiC-MOS器件的可靠技术
机译:复杂的微流体设备的可靠磁可逆组装:制造,表征和生物学验证
机译:通过以可靠的方式释放应力的基于新型悬臂装置的制造
机译:用于合成小直径血管移植,控释和组织工程应用的聚合物器件的制造和表征。
机译:透皮递送装置:丝绸的制造力学和药物释放**
机译:各种基材上的电子器件:在外地基板上制造可释放的单晶硅 - 金属氧化物场效应装置及其确定性组装(ADV。Funct。Matter。16/2011)