机译:晶圆级真空封装的速率陀螺,具有商业MEMS过程的高质量因子
机译:超净晶圆级真空封装的硅环谐振器,用于定时和频率参考
机译:使用玻璃回流工艺实现具有嵌入式晶圆通孔的玻璃上硅MEMS器件,用于晶圆级封装和3D芯片集成
机译:100K Q系数环形环陀螺仪在晶圆级外延硅封装过程中实现
机译:一种高纵横比的高性能多晶硅振动环陀螺仪。
机译:单晶硅各向异性对振动环陀螺仪频率分离的影响
机译:商业MEMS工艺的晶圆级真空封装盘谐振器陀螺仪的设计与分析
机译:无源环形谐振腔激光陀螺仪两种设计思想的实现与评价