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【2h】

Design and analysis of wafer-level vacuum-encapsulated disk resonator gyroscope using a commercial MEMS process

机译：商业MEMS工艺的晶圆级真空封装盘谐振器陀螺仪的设计与分析

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Balaadithya Uppalapati; Mohammed Jalal Ahamed; Vamsy P. Chodavarapu;
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年度 2017
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