single crystal silicon anisotropy vibrating ring gyroscope frequency split;
机译:微机电振动环陀螺仪,结构模式匹配(100)硅
机译:支持非线性导致的基于MEMS环的科里奥利振动陀螺仪中的分频
机译:基于级联弹簧几何补偿的MEMS环形陀螺仪初始分频降低
机译:单晶硅振动环陀螺仪
机译:一种高纵横比的高性能多晶硅振动环陀螺仪。
机译:各向异性在抛光非连续表面中单晶硅的影响
机译:单晶硅各向异性对振动环陀螺频率分配的影响
机译:振动环陀螺的Hannay-Berry阶段