E-beam inspection; Hot spot inspection; OPC; ORC; pattern fidelity;
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机译:电子束热点检查在FinFET技术的早期检测系统构图问题中的应用
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机译:使用电子束热点检测早期检测22nm SOI技术的系统图案问题
机译:移民与自然灾害:龙卷风和生活质量在美国龙卷风热点地区内部迁移模式中的作用。
机译:柿叶植物叶片的光学检查和形态分析以检测圆叶斑病
机译:KA波段3堆栈功率放大器,具有18.8 dBm PSAT和23.4%PAE使用22nm CMOS FDSOI技术