Films; Phosphorus; Silicon; Doping; Annealing; Antimony; Boron;
机译:利用纵横比陷阱技术在硅衬底上沉积原子层的Al_2o_3 / gaas金属氧化物半导体场效应晶体管
机译:沟道掺杂浓度和厚度对带有原子层沉积的AI_2O_3电介质的ln_(0.53)Ga_(0.47)As金属氧化物半导体晶体管的器件性能的影响
机译:通过原子层沉积和化学气相沉积以高长宽比结构沉积的薄膜的ToF-SIMS 3D分析
机译:用于高纵横比半导体结构掺杂的原子层沉积固体源
机译:用于电介质,半导体钝化和固体氧化物燃料电池的原子层沉积薄膜。
机译:通过原子层沉积和化学气相沉积在高纵横比结构中沉积的薄膜的ToF-SIMS 3D分析
机译:Al X Ga 1-x N(x> 0.4)通道金属氧化物半导体异质结构场效应晶体管具有高k原子层沉积栅极氧化物的高温操作
机译:III-V族化合物半导体(110)表面上的V柱覆盖层的新表面原子结构。