University of Illinois at Chicago.;
机译:热退火对等离子体增强原子层沉积沉积铝氧化铝薄膜电介质,钝化和pH检测性能的影响
机译:等离子体增强原子层沉积的YSZ中间层对薄膜固体氧化物燃料电池GDC电解质阴极界面的影响
机译:原子层沉积,浸涂或溅射沉积在固体氧化物燃料电池阴极/电解质界面的YSZ超薄膜的比较
机译:使用原子层沉积氧化铝作为栅介质的固相结晶多晶硅薄膜晶体管
机译:用于超细固体氧化物燃料电池的纳米复合薄膜的加工和性能。
机译:AlGaN / GaN金属-氧化物-半导体高电子迁移率晶体管中作为栅极电介质的氧化镓膜的原子层沉积
机译:通过原子层沉积,浸涂或溅射在固体氧化物燃料电池阴极/电解质界面沉积的YSZ超薄膜之间的比较