Ohmic contacts; Annealing; Metals; Contact resistance; Substrates; Silicon; Gallium nitride;
机译:Ti / Al / Ti / W无金欧姆接触通过预欧姆凹槽蚀刻和低温退火与AlGaN / GaN异质结构的机理
机译:用于200 mm Si衬底上的AlGaN / GaN功率器件的无金低温欧姆接触
机译:Ti / Al原子比对AlGaN / GaN异质结构上非凹陷无金欧姆接触形成机理的影响
机译:与硅或蓝宝石衬底上的AlGaN / GaN结构的金基和无金欧姆接触
机译:用于AlGaN / GaN和InAlN / GaN二极管以及在硅(111)衬底上生长的高迁移率晶体管的CMOS兼容氧化钌肖特基接触的研究。
机译:具有再生欧姆接触的半绝缘Ammono-GaN衬底上的AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管
机译:ALGAN / GAN高电子迁移率晶体管的无芳型嵌入式欧姆触点:蚀刻化学和金属方案的研究