Fabrication; Silicon; Pressure sensors; Stress; Wet etching; Sensitivity; Mechanical engineering;
机译:新型半岛 - 岛结构隔膜的建模与分析,具有高敏感性的超低压敏
机译:通过RIE干蚀刻和KOH湿蚀刻技术结合沿<1120>方向制造GaN基条纹结构,以恢复干蚀刻损伤
机译:具有半岛岛结构的凸台膜片式压阻压力传感器,适用于超低压范围,具有高灵敏度
机译:超低压感应耦合等离子体对InP / InGaAsP的小尺寸蚀刻
机译:用乳杆菌属的细菌素样物质控制食源性病原体。与高压处理相结合。
机译:一种基于聚合物的压力传感器和抗干扰后处理电路的心率监测压力传感系统
机译:利用超低压电感耦合等离子体刻蚀制备Inp异质结构中的高纵横比双槽光子晶体波导
机译:基于过程建模和原位传感器反馈的分子束外延和离子辅助反应蚀刻的先进半导体结构自适应控制。