机译:通过催化化学气相沉积的SiNx / a-Si叠层钝化层实现的晶体硅晶片上极低的表面复合速度
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机译:原子层沉积AlO_x钝化的晶体硅衬底的表面重组
机译:在CZ晶体硅衬底上PECVD沉积a-Si:H / SiNx:H双钝化层的比较研究
机译:超薄铝氧化铝隧道层钝化接触,用于高效晶体硅太阳能电池
机译:用于单晶硅太阳能电池的SiNX / SiNX双堆叠抗反射涂层的稳定性
机译:双层超薄a-Si:H和SiNx用于n型晶体硅晶片的表面钝化
机译:表征新的a-si:H探测器由非晶硅制成,通过氦增强pECVD以高速率沉积