机译:采用单极脉冲和等离子体发射反馈系统的反应磁控溅射高速率沉积掺锡的氧化铟薄膜
机译:采用单极脉冲和等离子体发射反馈系统的反应磁控溅射高速率沉积锡掺杂的氧化铟膜
机译:用于TiCrsin薄膜沉积的混合高功率脉冲和射频磁控溅射系统:等离子体特性和薄膜性能
机译:用于再入系统的可重复使用TPS的混合夹持装置上的等离子体溅射氧化物膜
机译:降低了在活性氧/氢等离子体中溅射的二氧化钒薄膜的工艺温度。
机译:氧浓度对超薄射频磁控溅射沉积铟锡氧化物薄膜作为光伏器件上电极的性能的影响
机译:通过具有单极脉冲和等离子体发射反馈系统的反应磁控溅射高速沉积锡掺杂的氧化铟薄膜
机译:用于电致变色器件的钨 - 钒氧化物溅射薄膜