氧化物溅射膜、氧化物溅射膜的制造方法、氧化物烧结体和透明树脂基板

摘要

本发明的目的在于提供通过量产性高的直流溅射而具有优异的透明性、良好的水蒸气阻隔性能、氧阻隔性能的氧化物溅射膜、氧化物溅射膜的制造方法、氧化物烧结体和透明树脂基板。一种氧化物溅射膜，其特征在于，其为含有Zn与Sn的非晶质透明的具有水蒸气阻隔性能或氧阻隔性能的氧化物溅射膜，上述Zn与Sn的金属原子数比的Sn/(Zn+Sn)为0.18以上0.29以下。