actinic; phase shift; photomask; phase shift mask; metrology; EAPSM; AAPSM;
机译:基于高分辨率技术的光掩模制造的特性,该技术具有非化学放大的抗蚀剂和曝光后烘烤
机译:用于高分辨率腐蚀检查的超声相控阵工具
机译:使用CD-AFM和倾斜AFM测量EUV光掩模结构的CD和侧壁轮廓
机译:高分辨率光掩模相位测量工具
机译:用于光刻的DUV和EUV光掩模中非平面相和多层缺陷的快速仿真方法。
机译:组织样品中遗传基因座的地形图:使用相间FISH和高分辨率图像分析技术的新型诊断工具
机译:抗反射铬光掩模线宽测量的互借研究
机译:半导体测量技术:抗反射铬光掩模线宽测量的实验室间研究