CMOS; System-on-chip antennas; millimeter-wave antennas; polymer MEMS; self-assembly;
机译:用于片上系统应用的自组装毫米波天线的制造,仿真和测量
机译:用于MEMS器件制造的新型聚合物纳米纤维沉积工艺
机译:用于批量制造基于聚合物的厚天线结构的深X射线光刻工艺
机译:片上系统自组装毫米波天线的聚合物MEMS制造工艺
机译:微波和毫米波天线的设计,表征和制造。
机译:用于有机MEMS谐振器的PVDF-TrFE工艺条件的优化
机译:用于片上天线自组装的MEMS制造工艺的开发