首页> 中国专利> 用于支撑MEMS部件的装置、用于支撑包括该装置的系统的该装置的阵列、用于制造支撑MEMS部件的装置的方法，和围绕MEMS部件的壁的用途

用于支撑MEMS部件的装置、用于支撑包括该装置的系统的该装置的阵列、用于制造支撑MEMS部件的装置的方法，和围绕MEMS部件的壁的用途

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明涉及一种用于支撑MEMS部件的装置，尤其是压力传感器，其具有由陶瓷形成的基板，在基板上的MEMS部件和形成用于围绕MEMS部件的腔的壁，其中，壁由经机加工的陶瓷腔阵列形成。

著录项

公开/公告号CN109891574A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-14

原文格式PDF
申请/专利权人梅斯瑞士公司;
展开▼

申请/专利号CN201780062711.3
发明设计人 I.布伦纳;T.阿诺德;P.戈吉洛特;
展开▼

申请日2017-10-12
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人贺紫秋
地址瑞士伯韦
入库时间 2024-02-19 12:09:05

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-09

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/00 申请日:20171012

实质审查的生效
2019-06-14

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 用于支撑MEMS部件的装置、用于支撑包括该装置的系统的该装置的阵列、用于制造支撑MEMS部件的装置的方法，和围绕MEMS部件的壁的用途 [P] . 中国专利： CN109891574A . 2019-06-14
2. 支撑管,过滤部件和具有支撑管的过滤系统以及用于加工支撑管的方法和装置 [P] . 中国专利： CN105378260A . 2016-03-02
3. DEVICE FOR SUPPORTING A MEMS COMPONENT, ARRAY OF THE DEVICE FOR SUPPORTING A SYSTEM COMPRISING THE DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING THE DEVICE FOR SUPPORTING A MEMS COMPONENT AND USE OF WALLS FOR SURROUNDING A MEMS COMPONENT [P] . 世界知识产权组织专利： WO2018069440A1 . 2018-04-19

机译：用于支撑MEMS组件的设备，用于支撑包括该设备的系统的设备的阵列，用于制造用于支撑MEMS组件的设备的方法以及使用壁来支撑MEMS组件的方法
4. DEVICE FOR SUPPORTING A MEMS COMPONENT, ARRAY OF THE DEVICE FOR SUPPORTING A SYSTEM COMPRISING THE DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING THE DEVICE FOR SUPPORTING A MEMS COMPONENT AND USE OF WALLS FOR SURROUNDING A MEMS COMPONENT [P] . 欧洲知识产权局专利： EP3309826A1 . 2018-04-18

机译：用于支撑MEMS组件的设备，用于支撑包括该设备的系统的设备的阵列，用于制造用于支撑MEMS组件的设备的方法以及使用壁来支撑MEMS组件的方法
5. Method for producing arrangement of electronic component e.g. microelectro mechanical system (MEMS) chip, involves partially removing support elements, such that supporting elements are in non-contact state with respect to component [P] . 德国专利： DE102010033284A1 . 2012-02-09

机译：用于制造例如电子部件的装置的方法。微电子机械系统（MEMS）芯片涉及部分去除支撑元件，以使支撑元件相对于组件处于非接触状态