机译:IBM Advanced Lithography Facility中的X射线光刻束线
机译:深硅X-射线光刻技术,采用深金UV光刻技术和电铸技术制造的硅金面膜
机译:通过掩模拖动X射线光刻和对准X射线光刻技术制造聚合物微针阵列
机译:IBM Advanced Mask Facility上X射线掩模开发的现状
机译:碳化硅上原始,插层和功能化外延石墨烯的同步X射线研究(0001)。
机译:X射线光刻掩模计量学:透射电子在SEM中用于线宽测量
机译:X射线光刻的验证和移动掩模深X射线光刻的开发仿真系统
机译:硅膜X射线光刻掩模的制造方法。