hafnium compounds; dielectric thin films; electron traps; hole traps; MOSFET; semiconductor device measurement; gate oxide stack; charge trapping kinetics; damascene CMOS transistors; gate voltage pulse technique; transient Vt instabilities physical mechanism; charge detrapping; transient threshold voltage instabilities; high-k oxide reliability; energy distribution extraction; HfO/sub 2/;
机译:脉冲电流-电压(I-V)和电容-电压(C-V)技术在MOSFET高阻栅极中的应用
机译:用于先进CMOS器件的GaAs上沉积的原子层高k栅极电介质的电学和界面表征
机译:失效准则对基于电压斜坡应力的超薄栅氧化物CMOS器件可靠性预测的影响
机译:脉冲栅极电压技术CMOS器件应用的基于铪基电介质中VT不稳定性的表征。
机译:适用于未来规模化技术的高介电常数电介质和高迁移率半导体:氧化ha /锗CMOS器件的Ha基高K栅极电介质和界面工程
机译:高k和更稳定的稀土氧化物作为先进CMOS器件的栅极电介质的设计
机译:金属栅电极和用于子32nm散装CMOS技术的高电胶:用于低阈值电压器件应用的氧化镧覆盖层的应用
机译:可靠性试验和CmOs NOR盖茨与向列相液晶失效分析技术的应用分析,