delay systems; flexible manipulators; microassembling; micromechanical devices; wavelet transforms; MEMS sensor; Smith predicator; flexible microassembly system; optomechatronic design; real-time execution level; task planning level; wavelet-based microscopic focus;
机译:用于混合MEMS制造的监督晶圆级3D微装配系统
机译:混合机器人微设备柔性组装的微组装系统
机译:用于MEMS应用的自动并行微装配
机译:一种柔性微型成套系统,用于MEMS传感器的自动制造
机译:用于微型装配的应力工程MEMS微型机器人的分布式系统的设计,制造和并行控制。
机译:用于乳腺癌诊断的基于MEMS的柔性机电传感器阵列的设计与制造
机译:基于热凝胶的空气和sEm微型复合系统的设计,制造和特性化
机译:开发无线mEms多功能传感器系统和用于监测混凝土路面的嵌入式传感器的现场演示:第二卷 - 用于混凝土路面健康监测的无线mEms多功能传感器(Wms)系统的开发。