density functional theory; atomic layer deposition; adsorption; dissociation; Ge-Si alloys; zirconium compounds; chlorine compounds; density functional theory; atomic layer deposition; alloy surface; adsorption; dissociation; one-dimer cluster models; hydroxylated surface; H-passivated surface; reaction energy barrier; ZrCl/sub 4/; ZrO/sub 2/; ZrCl/sub 2/; ZrCl/sub 3/Zr; Cl/sub 4/; Cl/sub 2/; O/sub 2/; SiGe;
机译:HfCl_4和H_2O在Ge / Si(100)-(2X1)上的吸附和解离的密度泛函理论研究:SiGe表面HfO_2原子层沉积的初始阶段
机译:Ge / Si(100)-(2x1)表面ZrO_2原子层沉积初期的密度泛函理论研究
机译:HfO_2,ZrO_2和Al_2O_3在羟基化Si(100)表面原子层沉积中的竞争反应:密度泛函理论研究
机译:ZrCl / sub 4 /带Ge / Si(100) - (2 / SPL时/ 1)的反应机制:Zro / Sim 2 /原子层沉积初始阶段对SiGe合金表面的密度泛函理论研究
机译:研究硅衬底上的氧化物,硅化物和氮化物薄膜原子层沉积中的初始表面反应。
机译:石墨烯上氧化锌原子层沉积的密度泛函理论研究
机译:六氯二硅烷对使用密度函数理论的原子层沉积非晶二氧化硅表面的初始反应