micromirrors; electrostatic actuators; electrodes; torsion; optical testing; optical design techniques; single crystalline mirror; electrostatic actuation; terraced electrodes; torsion spring; mirror pitch; mirror size; stability;
机译:带有杠杆和扭力弹簧的静电致动堆叠式电极MEMS继电器,用于电源应用
机译:在低激励电压下具有大行程的多电极预变形双层弹簧结构静电吸引MEMS激励器
机译:复合静电驱动结构致动的微扭力镜
机译:通过具有高纵横比扭转弹簧静电电极静电致电的单晶镜。
机译:高行程高纵横比微机电系统可变形反射镜的特性,用于自适应光学。
机译:用静电弹簧扫描微镜以补偿硬弹簧非线性
机译:1200镜子阵列与CMOS集成,用于光子开关:机械杠杆和扭转静电驱动的应用,降低驱动电压要求并增加角倾斜