ultraviolet lithography; photoresists; optical multilayers; antireflection coatings; multilayer bottom antireflective coating; numerical aperture; modified illumination; DUV exposure system; excimer laser lithography; resolution enhancement technique;
机译:通过使用抗反射涂层减少高数值孔径曝光系统中的偏振和摆动效应
机译:超数值孔径光刻中提高分辨率的技术和双层底部减反射涂层的优化
机译:用于极端紫外线光刻的0.3数值孔径微曝光工具的亚衍射极限多层涂层
机译:用于高数值孔径和改性照明曝光系统的多层底抗反射涂层
机译:使用相移掩模在高数值孔径光刻中表征偏振照明。
机译:注射纳米成型和多层膜的光学性能可快速复制和轻松调制亚波长抗反射聚合物膜
机译:纳米多孔增透膜的设计
机译:HfO2-siO2多层镜和偏光涂层重复照射过程中激光损伤的增长