机译:通过离子束辅助沉积(IBAD)制备的Cu的优先取向和非晶态Ti,TiN和Ti / TiN扩散阻挡层
机译:Al-0.5 / 100Cu / Ti / SiO_2 / Si结构中离子化金属等离子体沉积Ti的高密度扩散势垒
机译:等离子体浸没离子注入形成的氮化钽扩散阻挡层用于铜金属化的热稳定性
机译:通过等离子体源离子源离子源代替氮成Ti作为Si / Cu金属化的扩散屏障
机译:通过等离子源离子注入,在微电子应用中基于能量离子的金属氮化物扩散势垒沉积和注入。
机译:Al-50Vol中的Al / Cu接口在Al / Cu接口中的间隔和金属间化合物。通过固态烧结制备的%Cu复合材料
机译:纳米金属间金属沉淀物的磨损行为Al65Cu20Ti15通过脉冲碾磨粉末烧结制备的Al65Cu20Ti15非晶基质复合物