imec Leuven Belgium;
AlGaN/GaN; PE-ALD SiN; border traps; depletion mode; enhacement mode; gate dielectric; interface states; recessed gate;
机译:通过原子层沉积Al_2O_3栅电介质的原位氟掺杂来控制E模式和D模式硅基GaN硅金属绝缘体半导体异质结构场效应晶体管中的阈值电压
机译:结合等离子体增强原子层沉积栅极电介质和原位SiN覆盖层,可降低200mm Si衬底上AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管的阈值电压漂移和动态导通电阻色散
机译:利用耗尽增强效应的嵌入式梯形凹槽双栅AlGaN / GaN E型晶体管
机译:栅极介电质量在200mm Si衬底上显影Au-Free的D-Mode和E模式凹陷栅极/ GaN晶体管的影响
机译:研究常关模式的AlGaN / GaN MOS HEMT器件,该器件利用栅极后退和p-GaN栅极结构以及带有醛生长的高k栅极绝缘体来实现高功率应用。
机译:质子辐照对常断型AlGaN / GaN栅嵌入式金属-绝缘体-半导体异质结构场效应晶体管随时间变化的介电击穿特性的影响
机译:栅极介电质量对在200mm Si衬底上开发无金的D型和E型凹栅AlGaN / GaN晶体管的影响
机译:利用无缺陷栅极凹陷和激光退火改善alGaN / GaN / si mOsFET的器件性能和可靠性。