高荷重応用を目的とした厚膜ダイアフラムとストッパ構造をもつ CMOS-on-LTCC集積化3 軸触覚センサの開発

摘要

介護ロボットなどの人間共生ロボットが安全かつ適切に動作rnするには，例えば人や物と接触した際に停止または接触力を調rn整するなどの安全確保，把持対象物の滑りを検出して把持力をrn制御するなどの高度な操作，なでるなどの人間の接触行動に対rnして応答する触覚コミュニケーションなどが求められる。これrnらの実現のためには，垂直荷重とせん断荷重を検出可能な3 軸rn触覚センサをロボット全身に取付けて対象物との接触状態を把rn握することが望まれる。その際，多数の触覚センサを接続するrnために配線処理の問題を解決する必要がある。触覚センサと検rn出回路を一対一またはマトリクス状の配線で接続する場合，セrnンサ数が増えるにしたがって必要となる配線数が増大し，実用rn上問題となる。また，多数の触覚センサを取付けることによるrnCPU (Central Processing Unit) での信号処理量の増大，手や腕なrnどの曲面や屈曲部への搭載に関しても考慮する必要がある(1)。