Department of Mechanical Engineering, Hong Kong University of Science and Technology, Clear Water Bay, Kowloon, Hong Kong;
机译:具有改进性能的微型硅片燃料电池的制造
机译:在硅晶片上制造微型双燃料电池
机译:使用单晶片技术制造硅电容麦克风
机译:使用微制造技术制造微型硅晶片燃料电池
机译:硅基微系统的制造,表征和传输分析:微型燃料电池和微型气体浓缩器。
机译:一种基于玻璃 - 硅复合晶片的电容MEMS加速度计的新型制造方法
机译:在硅晶片上制造微型双燃料电池