首页> 外文OA文献 >Fabrication of a miniature twin-fuel-cell on silicon wafer

【2h】

Fabrication of a miniature twin-fuel-cell on silicon wafer

机译：在硅晶片上制造微型双燃料电池

页面导航

著录项
相似文献
相关主题

著录项

作者
Yu JR; Cheng P; Ma ZQ; Yi BL;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2003
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Fabrication of a miniature twin-fuel-cell on silicon wafer [J] . Jingrong Yu, Ping Cheng, Zhiqi Ma, Electrochimica Acta . 2003,第11期

机译：在硅晶片上制造微型双燃料电池
2. Fabrication of miniature silicon wafer fuel cells with improved performance [J] . Jingrong Yu, Ping Cheng, Zhiqi Ma, Journal of power sources . 2003,第1期

机译：具有改进性能的微型硅片燃料电池的制造
3. Wafer bonding with nano-imprint resists as sacrificial adhesive for fabrication of silicon-on-integrated-circuit (SOIC) wafers in 3D integration of MEMS and ICs [J] . Niklaus F, Decharat A, Forsberg F, Sensors and Actuators, A. Physical . 2009,第1期

机译：带有纳米压印抗蚀剂的晶圆键合作为牺牲粘合剂，用于在MEMS和IC的3D集成中制造集成电路硅（SOIC）晶圆
4. FABRICATION OF MINIATURE SILICON WAFER FUEL CELLS USING MICRO FABRICATION TECHNOLOGIES [C] . Jingrong Yu, Ping Cheng, Zhiqi Ma, International conference on fuel cell science, engineering and technology . 2003

机译：使用微制造技术制造微型硅晶片燃料电池
5. Fabrication and characterization of hybrid silicon-on-silicon carbide wafers [D] . Whipple, Steven G. 2006

机译：杂交硅式碳化硅晶片的制造与表征
6. A Novel Fabrication Method for a Capacitive MEMS Accelerometer Based on Glass–Silicon Composite Wafers [O] . Yurong He, Chaowei Si, Guowei Han, 2021

机译：一种基于玻璃 - 硅复合晶片的电容MEMS加速度计的新型制造方法
7. Fabrication of a miniature twin-fuel-cell on silicon wafer [O] . Yu JR, Cheng P, Ma ZQ, 2003

机译：Fabrication of a miniature twin-fuel-cell on silicon wafer

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号