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VACUUM PACKAGED SILICON MEMS GYROSCOPE WITH Q-FACTOR ABOVE 0.5 MILLION

机译：Q系数超过50万的真空包装硅MEMS陀螺仪

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《Device packaging 2010》|2010年|p.1-2|共2页
会议地点 Scottsdale/Fountain Hills AZ(US)
作者
A. A. Trusov; A. R. Schofield; A. M. Shkel;
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作者单位

MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, CA, USA;

MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, CA, USA;

MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, CA, USA;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类制造工艺;
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