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【2h】

An Ultrahigh Vacuum Packaging Process Demonstrating Over 2 Million Q-Factor in MEMS Vibratory Gyroscopes

机译：超高真空包装工艺，在MEMS振动陀螺仪中展示了超过200万Q因子

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Mohammad H. Asadian; Sina Askari; Andrei M. Shkel;
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年度 2017
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