Cabot Microelectronics Corp., 870 Commons Drive, Aurora, IL 60504;
CMP; aluminum; mirror; surface finish; polishing;
机译:铝合金薄膜的化学机械抛光:浆料化学性质和抛光机理
机译:用于机器人抛光应用的电化学机械抛光末端执行器的协同集成设计
机译:使用TOFSIMS技术研究机械抛光,化学处理和高真空脱气纯铌样品中的杂质分布
机译:通过应用化学机械抛光技术,超级抛光铝镜
机译:量化聚合物表面化学和机械改性的技术的发展:在化学机械抛光中的应用
机译:机械和化学抛光技术对热聚合和可见光聚合丙烯酸义齿基料树脂表面粗糙度的影响
机译:钨和铝化学机械抛光的电化学方面