公开/公告号CN106661427B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-28
原文格式PDF
申请/专利权人 嘉柏微电子材料股份公司;
申请/专利号CN201580033196.7
申请日2015-06-18
分类号C09K3/14(20060101);H01L21/304(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人宋莉
地址 美国伊利诺伊州
入库时间 2022-08-23 10:35:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-28
授权
授权
2017-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C09K3/14 申请日:20150618
实质审查的生效
2017-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 3/14 申请日:20150618
实质审查的生效
2017-05-10
公开
公开
2017-05-10
公开
公开
机译: 用于抛光相变存储器件的化学机械抛光浆料组合物以及使用该化学机械抛光浆料组合物的抛光相变存储器件的方法
机译: 用于抛光相变存储器件的化学机械抛光浆料组合物以及使用该化学机械抛光浆料组合物抛光相变存储器件的方法
机译: 用于抛光相变存储器件的化学机械抛光浆料组合物以及使用该化学机械抛光浆料组合物抛光相变存储器件的方法