三氯化铁基抛光液化学机械抛光304不锈钢时化学作用机理

摘要

化学机械抛光液是化学机械抛光中重量的组成部分，它的成本占化学机械抛光总成本的60%-70%，它质量决定了化学机械抛光的效率、表面质量和成本。化学添加剂(氧化剂、pH值调节剂、分散剂等)是化学机械抛光液中的重要组成成份，化学添加剂的化学作用，是研究抛光液和材料去除机理的重要基础，因此，本文通过一系列的实验，研究了三氯化铁基抛光液在不同pH值调节剂、不同pH值环境下、三氯化铁不同含量下的化学反应情况，以期深入了解化学机械抛光中的化学作用，为进一步研究不锈钢化学机械抛光液提供参考。