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Properties of humidity sensors with porous Al_2O_3 as a dielectric layer

机译:以多孔Al_2O_3为介电层的湿度传感器的特性

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摘要

The effect of humidity influence on characteristics of a ceramic sensor with a porous dielectric Al_2O_3 layer is presented. Influence of chosen electrolytic process parameters on electrical properties of the sensor is shown. The experimental data of two groups of sensors are interpreted using two, known from literature, electric equivalent circuits.
机译:提出了湿度对具有多孔介电Al_2O_3层的陶瓷传感器特性的影响。显示了所选电解工艺参数对传感器电性能的影响。两组传感器的实验数据使用两个等效电子电路(从文献中可知)进行解释。

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