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多孔Al_2O_3电容式湿度传感器长期漂移的机理研究

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本文通过对多孔Al_2O_3薄膜的显微结构形貌和晶相组成的跟踪检测,观察了多孔Al_2O_3薄膜几何结构和晶相的经时变化.对其原因进行了探讨,从而对多孔Al_2O_3电容式湿度传感器响应的长期漂移机理进行了详细讨论,并指出了克服或改善这类湿度传感器漂移的方向.

著录项

来源
《传感技术学报》|1990年第4期|16-21|共6页
作者
骆如枋;
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作者单位

中科院上海冶金研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212-55;
关键词
薄膜; 多孔Alsub2/subOsub3/sub; 湿度传感器; 漂移;
入库时间 2022-08-20 13:33:01

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